半導体の超小型生産14年実用化へ、大型空調不要、CO2、87%減。(2010/6/1)

半導体の超小型生産14年実用化へ、大型空調不要、CO2、87%減。(2010/6/1)
新発想で投資、資源も最少に

 日立製作所、東芝、オリンパスなど半導体関連の約30社が、超小型の半導体生産システムの実用化に取り組んでいる。旗振り役の産業技術総合研究所が育ててきた技術を中核に装置開発を推進。従来の延長線上でない発想のシステムは、半導体生産の巨額投資の大幅な節減と同時に、抜本的な「省エネライン」にもなりそう。工場の本格的な低炭素化と経済性を両立させるヒントともいえる試みだ。

 超小型生産システム「ミニマルファブ」は、30センチメートル角の卓上に置ける小さなサイズの製造装置を十数台つなぎ1ラインにする。直径12・7ミリメートルの極小ウエハーを使う。

 システム全体がバスケットコート半分に収まる大きさになり、1ラインの設備投資費用は約5億円で済むという計画だ。2014年までに・・・ (新聞本文はまだ続きます)


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[日経産業新聞]
[提供:日経テレコン21]
by momotaro-sakura | 2010-06-04 13:01